在裝置風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組FFU超濾膜組系統(tǒng)時(shí)，模塊化生產(chǎn)體式格局是為經(jīng)濟(jì)的計(jì)劃，具有很多長處。靈活性、系統(tǒng)改變的煩瑣性，運(yùn)輸費(fèi)用降低、施工速度加快、特定的專業(yè)工人、優(yōu)化的效勞軌范、受控的潔凈室生產(chǎn)、緊湊設(shè)計(jì)、總成本降低、情況友好以及冷熱應(yīng)用僅僅是個(gè)中一個(gè)方面。

使用過濾單元FFU模塊化的優(yōu)點(diǎn)是什么？

(1)根據(jù)現(xiàn)場情況容易擴(kuò)大或縮小，不需要停止消費(fèi)大的停止。隔離閥承諾在不干擾系統(tǒng)運(yùn)行的前提下添加或移除額外的過濾單位。

(二)運(yùn)用 這種“餅干模型”技術(shù)能夠大大削減施工時(shí)候。在半導(dǎo)體行業(yè)的旺季，與找到有經(jīng)驗(yàn)的當(dāng)?shù)毓こ坦咀鲰?xiàng)目相比，訂購?fù)淮a有庫存的產(chǎn)品有很多優(yōu)勢(shì)。與傳統(tǒng)的施工方法相比，從訂單到交貨可以節(jié)省一半的時(shí)間。

(3)超過濾膜組的組裝者知道需求，知道如何做。因?yàn)榻M裝者能夠花更多的時(shí)候在生產(chǎn)上，而不是像在零丁設(shè)計(jì)頂用這些時(shí)候去解析圖紙，模塊化設(shè)計(jì)提高了產(chǎn)質(zhì)量量。悉數(shù)管路由高純PVDF管道構(gòu)成，而且悉數(shù)的焊接和組裝工作在1萬級(jí)潔凈室中完成。在受控前提下，高純組裝更輕易得以完成。膜組的單位高度限制在6“以下，便于出入潔凈室或在工廠移動(dòng)作為芯片消費(fèi)線用水滴的終端空氣過濾器。降低高度的另一個(gè)好處是確保閥門裝置符合人體工學(xué)繩尺，操作便當(dāng)。

(4)設(shè)計(jì)靈活，可裝置所需數(shù)量的過濾單位。另外，能夠在模塊中設(shè)計(jì)額外容量，以便在改換空氣過濾器或維護(hù)時(shí)運(yùn)用附加空氣過濾器，如許能夠適應(yīng)一切流量前提。該冗馀設(shè)計(jì)承諾設(shè)備每天24小時(shí)運(yùn)行，特別是在需求執(zhí)行衛(wèi)生對(duì)策軌道時(shí)，該設(shè)計(jì)特別有效。

(五)單位設(shè)計(jì)中思考比較好效勞才干，閥門位置適合而且高效空氣過濾器維護(hù)和移除可輕松完成。例如，每個(gè)運(yùn)用點(diǎn)都有交流設(shè)計(jì)，操作和備件可以相同。這些“拷貝”的設(shè)計(jì)答應(yīng)交叉運(yùn)用以及按需定制。

(6)FFU模塊化設(shè)計(jì)改善了施工質(zhì)量?；谶@一概念，完全可以在控制的潔凈室的前提下生產(chǎn)和測(cè)試膜組系統(tǒng)，確保終產(chǎn)品的高純度功能。任何與產(chǎn)量有關(guān)的問題都邑招致新技術(shù)的發(fā)生，但將降低產(chǎn)量的不足同通俗干擾性不足區(qū)分隔隔離分散來顯得尤為首要，特殊是在工藝抵達(dá)90nm后。在任何管路系統(tǒng)裝置過程中導(dǎo)入的顆粒物就是降低產(chǎn)量的不足起原之一。

(7)由于超濾機(jī)組可以通過代碼從供應(yīng)商那里訂購而不是現(xiàn)場建設(shè)，整體成本降低了。而且無需任何再加工。業(yè)主能夠估量一個(gè)特制單位的規(guī)范成本，而且與地點(diǎn)、當(dāng)?shù)貏趧?dòng)力代價(jià)、訂購單位數(shù)量、資料庫存量以及其他要素?zé)o關(guān)。

(8)由于單位尺寸變小，起吊和運(yùn)輸變得麻煩，運(yùn)輸成本大幅度降低。過濾器單位安裝在筒中運(yùn)輸，確保施工時(shí)能夠正確地與尾部對(duì)齊，并且在終組裝前中止低流量測(cè)試。

(九)建造一個(gè)芯片廠將會(huì)為情況帶入很多燒毀物，這些燒毀物終都需求在情況中消解。跟著“綠色思惟”壓力的增大，請(qǐng)求工程公司措置樹登時(shí)點(diǎn)的燒毀物，芯片廠承擔(dān)了這一額外的措置和措置費(fèi)用。生產(chǎn)超過濾膜組系統(tǒng)可以在樹登時(shí)完成無燒毀物，減少超過濾膜組廠家燒毀物的發(fā)生量。也就是說，與芯片工廠不同，超過濾膜組的制造商不需要訂購5米高純度的PVDF管，只需要3米。制造商可以在下一個(gè)訂單中使用剩馀的管材。

(10)該設(shè)計(jì)合用于任何冷熱純水系統(tǒng)的應(yīng)用。閥門的正確選擇是滿足熱系統(tǒng)操作限制的關(guān)鍵。關(guān)于一連工作在50℃以上或溫度改變幅度達(dá)80℃的系統(tǒng)，適合選擇HTR(耐高溫)閥門。HTR型閥門可對(duì)溫度輪回前提下常見的閥體、膜片和響應(yīng)硬件之間的熱脹冷縮中止賠償。

(十一)設(shè)計(jì)中單位之間更緊湊，投影面積更小，隨著芯片廠空間的確立成本不時(shí)上升，這一點(diǎn)尤為重要。2002年，建設(shè)技術(shù)的芯片工廠成本接近30億美元。今日，樹立一個(gè)芯片廠的成本有時(shí)會(huì)超越60億美圓，以至到2010年有可能抵達(dá)100億美圓。系統(tǒng)的緊湊部分取決于零死區(qū)閥(ZSV)的運(yùn)用。

實(shí)際上，采用模塊化的體型結(jié)構(gòu)，現(xiàn)場節(jié)約了數(shù)千美元。研究表明，當(dāng)?shù)爻邪躺a(chǎn)的3個(gè)單元膜組系統(tǒng)，成本是相似的模塊化方法生產(chǎn)的3倍膜組系統(tǒng)，也表明模塊化生產(chǎn)是經(jīng)濟(jì)的。基于這些數(shù)據(jù)，該公司自從采用模塊化生產(chǎn)超濾膜組系統(tǒng)以來總成本節(jié)約超越100萬美圓。此數(shù)據(jù)還不包括省卻的工程和設(shè)計(jì)費(fèi)用以及降低的操作和維護(hù)費(fèi)用。除了節(jié)省硬件方面，還有隱藏的節(jié)省。

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