層流罩從空調(diào)箱通過管道和清潔室內(nèi)的空氣過濾器進(jìn)入清潔室，從清潔室兩側(cè)的隔壁板和高架地板回風(fēng)，氣流不是直線運(yùn)動(dòng)，而是呈現(xiàn)不禮貌的亂流和渦流狀況，這種型號(hào)用于清潔室等級(jí)1，000-100，000級(jí)。

層流蓋的優(yōu)點(diǎn)是什么？主要是其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U展比較輕易，在某些非凡用處場(chǎng)合，可并用無塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。另外，層流蓋分為層流式、復(fù)合式兩種形式。

[一]層流式:

層流式空氣流動(dòng)成平均直線形，空氣從肩膀保護(hù)率的的空氣過濾器進(jìn)入室內(nèi)，從高架地板和兩側(cè)的隔板回風(fēng)，該形式應(yīng)用于潔凈室等級(jí)高的情況，通常潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種：

(1)水平層流式:水平式空氣從空氣過濾器單向吹出，從對(duì)面墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，灰塵隨風(fēng)向排出室外，通常在便宜的一側(cè)污染嚴(yán)重，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)穩(wěn)定。

(2)垂直層流式:房間天花板完全由ULPA空氣過濾器保護(hù)，空氣從上向下吹，可獲得較高的清潔度，工藝中或工作人員產(chǎn)生的灰塵迅速排出室外，不影響其他工作區(qū)域。管理簡(jiǎn)單，開頭短時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定狀況，不易影響作業(yè)狀況和作業(yè)人員。

[二]復(fù)合式。

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可供應(yīng)部分超潔凈之空氣。

(1)清潔地道(CleanTunel):HEPA或ULPA空氣過濾器可以將工藝區(qū)域或工作區(qū)域的肩負(fù)，將清潔度等級(jí)提高到10級(jí)以上，節(jié)省裝置運(yùn)行費(fèi)用。這種類型需要隔離作業(yè)人員的工作區(qū)域和產(chǎn)品和機(jī)械維護(hù)，以免機(jī)械維護(hù)影響工作和質(zhì)量。ULSI工藝大多采用這種類型。

(2)并裝部分潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級(jí)提高到10，000~100，000的亂流潔凈室內(nèi)產(chǎn)品工藝區(qū)的潔凈度等級(jí)提高到10~1000級(jí)以上，認(rèn)為消費(fèi)用的潔凈工作臺(tái)、潔凈工作臺(tái)、潔凈風(fēng)盤就是這樣。

(3)清潔配管(CleanTube):包圍產(chǎn)品流程通過的積極消費(fèi)線，采取凈化措施，將清潔度等級(jí)提高到100級(jí)以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵情況相互隔離，少量之送風(fēng)即可獲得優(yōu)越之潔凈度，可儉省能源，不需人工的主動(dòng)化消費(fèi)線為適合運(yùn)用。藥品、食物業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均合用。

清潔工作室:為了防止在亂流式清潔室空間內(nèi)靜電的透明塑料被小空間包圍，采用自力HEPA或ULPA和空調(diào)風(fēng)機(jī)組，成為有經(jīng)驗(yàn)的清潔空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度為2.5米閣下，肩膀面積約為10m2以下，4根支柱可以安裝運(yùn)動(dòng)輪，靈活運(yùn)用。

一體化高效送風(fēng)口可棄式一體化高效送風(fēng)口作為空調(diào)過濾系統(tǒng)的終端過濾設(shè)備，可棄式一體化高效送風(fēng)口以150鋁型材或冷軋鋼板表面的噴霧處理為箱體，可棄式一體化高效送風(fēng)口內(nèi)部集成褶皺型無隔板高效過濾器，在出風(fēng)面加護(hù)網(wǎng)、周圍聚氨酯密封、可棄式一體化高效送風(fēng)口外加鍍鋅板或鋁板后蓋與管道連接法蘭，可棄式一體化高效送風(fēng)口箱體周圍可根據(jù)客戶需要粘貼保溫棉。可棄式一體化高效的送風(fēng)口效率高，安裝方便，通風(fēng)量大。高效送風(fēng)口-潔凈室專用凈化設(shè)備。

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